سوئیچ های فابریک نوری MEMS

سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) دستگاه های الکترومکانیکی مینیاتوری هستند که ابعاد آن ها در گستره از چند صد میکرونی تا چند صد میلی میتری هستند. آنها بر روی زیرلایه های سیلیکونی با استفاده از تکنیک های استاندارد پردازش نیمه هادی ساخته می شوند. با شروع از یک ویفر سیلیکونی ، مواد به ترتیب تعیین و الگوبندی می شوند تا یم ساختار الکترومکانیکی سه بعدی تولید شود. MEMS ها دستگاه های پیچیده اما قدرتمند ، با طول عمر زیاد و ارزان از لحاظ تولید هستند. MEMS نوری یک تکنولوژی نوید بخش برای ساخت تمام سوئیچ های نوری است. در ادامه ما MEMS های ID،2D و3D را شرح می دهیم.

سوئیچ فابریک 2ِD MEMS نوری متشکل از یک آرایه مربعی از N*N میکرو آینه چیده شده در یک مطرح میله عرضی است. هر ردیف از میکرو آینه ها با یک پورت ورودی و هر ستون از میکرو آینه ها با یک پورت خروجی مطابقت دارند. همچنین هر ورودی و خروجی میله عرضی با یک طول موج تکی مرتبط است.میکرو آینه با تعداد ردیف و ستون آن نشان داده شده است. یک میکرو آینه متشکل از محرک و یک آینه است و می تواند به سمت بالا یا پایین حرکت کند. برای یک طول موج ورودی بر روی پورت ورودی i که به پورت خروجی j سوئیچ می شود ، تمام میکرو آینه ها در ردیف i ام ، از ستون 1 به پورت j-1 باید به سمت پایین باشند ، میکرو آینه در موقعیت (j,i) باید بالا باشد و میکرو آینه های ستون j ام از ردیف های i+1 تا n باید در موقعیت پایین باشند.

برای خواندن و دانلود کتاب بر روی لینک کلیک کنید