سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) دستگاه های الکترومکانیکی مینیاتوری هستند که ابعاد آن ها در گستره از چند صد میکرونی تا چند صد میلی میتری هستند. آنها بر روی زیرلایه های سیلیکونی با استفاده از تکنیک های استاندارد پردازش نیمه هادی ساخته می شوند. با شروع از یک ویفر سیلیکونی ، مواد به ترتیب تعیین و الگوبندی می شوند تا یم ساختار الکترومکانیکی سه بعدی تولید شود. MEMS ها دستگاه های پیچیده اما قدرتمند ، با طول عمر زیاد و ارزان از لحاظ تولید هستند. MEMS نوری یک تکنولوژی نوید بخش برای ساخت تمام سوئیچ های نوری است. در ادامه ما MEMS های ID،2D و3D را شرح می دهیم.